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【光峰科技(688007)获“光栅干涉曝光系统”专利】2024 年 7 月 7 日消息，深圳光峰科技股份有限公司取得一项名为“光栅干涉曝光系统”的专利，授权公告号为 CN221261503U，申请日期为 2023 年 8 月。该专利摘要显示，此系统涉及全息光栅制造领域，包括发光装置、相位探测装置和至少两组相位调制组件。发光装置可发出两束相干光束，经不同路径传输后干涉形成干涉条纹。相位探测装置用于采集干涉条纹中对应每种波长光线形成的干涉条纹，并确定每种波长光线对应的相位漂移量。相位调制组件设于发光装置中且与相位探测装置连接，每组相位调制组件对应获取一种波长光线的相位漂移量，并基于此调制对应光线的波长以补偿相位漂移。因此，该系统能对每种波长光线的相位进行单独调制，实现多波长干涉曝光系统在曝光过程中每种波长光线的相位恒定，提升全息光栅干涉曝光质量。
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2024-07-07 16:04:32回复